В производстве современных полупроводников ограничения производительности оборудования часто связаны не с конструкцией, а с «невидимым и вездесущим» фактором – микровибрацией. От оборудования для соединения (бондинга) до прецизионных подвижных платформ, от систем контроля до высококлассной оптики – микровибрация напрямую влияет на точность обработки, юстировки и стабильность выхода годных изделий. Точное измерение, научная оценка и эффективное подавление вибрации стали ключевыми задачами при разработке и оптимизации оборудования. Акселерометры Kistler благодаря своим выдающимся характеристикам стали основным измерительным инструментом для многих производителей полупроводникового оборудования.

Измерение ускорения – оптимальный подход к анализу микровибраций
Микровибрации характеризуются высокими частотами и очень малыми перемещениями (от нанометров до микрометров). Прямое измерение перемещений затруднено. Сигнал ускорения можно один раз проинтегрировать для получения скорости, а дважды – для получения перемещения, что позволяет полностью восстановить информацию о вибрации. Хотя низкочастотное интегрирование вносит погрешность дрейфа, её можно эффективно подавить с помощью интегрирования в частотной области, выбора подходящей нижней частоты среза, удаления тренда и полосовой фильтрации.

Ключевые преимущества использования акселерометров

Полный частотный отклик: охватывает многокомпонентный спектр вибраций оборудования в широком динамическом диапазоне.

Адаптация к сложным условиям: простой монтаж, возможность размещения в нескольких точках, особенно подходит для сложных и ограниченных по пространству полупроводниковых установок.

По сравнению с лазерными датчиками смещения: не требуется сложная юстировка оптического тракта; датчик можно закрепить непосредственно на критических поверхностях, работать в стеснённых условиях; легко выполнять одновременные трёхосные измерения.

Полная информация о вибрации за одно измерение: ускорение, скорость, перемещение – все параметры выводятся.

Акселерометры Kistler помогают инженерам фиксировать возбуждение вибраций в источнике, обеспечивая надёжные данные для повышения точности и выхода годных полупроводникового оборудования.